真空ソレノイドバルブとは？

はじめに

真空ソレノイドバルブは、機械式真空ポンプに取り付けられた特殊なバルブです。バルブとポンプは同じ電源に接続されているため、ポンプの動作によってバルブの開閉が直接制御されます。

ポンプが停止したり、突然電源が遮断されたりすると、バルブが自動的に真空システムを密閉します。その後、ポンプの吸気口から大気がポンプ室に入り、ポンプオイルの逆流による真空システムの汚染を防ぎます。

このタイプのバルブは、空気および非腐食性ガスに適しています。

動作原理と仕様

真空ソレノイドバルブは、機械式真空ポンプからのオイルの逆流を防ぐために設計された特殊な真空バルブです。ポンプの吸気口に設置され、ポンプと同期して開閉します。

主な機能と仕様:

• 省エネ: 消費電力が低いため、エネルギーを節約できます。
• 材質: 通常、ステンレス鋼、真鍮、ダクタイル鋳鉄などの材質で作られています。
• 中: 清浄な空気やその他のガスで動作するように設計されています。
• 温度範囲: 媒体の動作温度は、バルブに使用されているゴムの種類によって決まります。
  • ニトリルブタジエンゴム(NBR): 14℉～176℉(-10℃～80℃)
  • フッ素エラストマー(FKM): -22℉～302℉(-30℃～150℃)
  • エチレンプロピレンジエンモノマー(EPDM): -22℉～248℉(-30℃～ 120℃）
• 動作環境： バルブの動作環境温度は、-10℃～50℃（14℉～122℉）、相対湿度は90%以下である必要があります。
• 取り付け： 真空ソレノイドバルブは通常、水平に設置されます。ただし、ご注文時に他の設置方法を指定することもできます。呼び径200mm以上のバルブは、水平に設置するのが最適です。

真空度

ここでの「真空」とは、相対真空を指します。当社が開発した真空ソレノイドバルブは、0.0～1.0MPaの真空度に対応できるように設計されており、ほとんどの真空環境の要件を満たします。

真空ソレノイドバルブとソレノイドバルブの主な違い

1.動作環境と媒体

標準ソレノイドバルブ： 主に、圧縮空気、水、油などの正圧流体を制御するために使用されます。媒体の圧力差を利用してバルブを開閉します。

真空ソレノイドバルブ： 真空環境（大気圧より低い圧力環境）向けに特別に設計されています。正圧差なしで確実に動作する必要があり、場合によっては高真空度でもシールを維持する必要があります。

2.構造と動作原理

標準ソレノイドバルブ： 一般的にパイロット操作構造を採用しています。この設計では、媒体自体の圧力を利用してバルブスプールを駆動するため、低差圧環境では信頼性が低くなります。

真空ソレノイドバルブ： 多くの真空ソレノイドバルブは直動構造を採用しています。この設計では、媒体の圧力差に依存しません。ソレノイドコイルがバルブスプールを直接駆動するため、真空または低圧環境でも確実に開閉できます。さらに、真空ソレノイドバルブに使用されるシールと材料は、高真空レベルでも非常に低いリーク率を確保できるように特別に設計されています。

3. 適用シナリオ

標準ソレノイドバルブ： シリンダー制御、水スイッチ、油圧システムなど、様々な産業オートメーション、流体制御、空気圧システムに広く使用されています。

真空ソレノイドバルブ： 真空吸引カップ、真空包装機、半導体製造、実験装置、真空を迅速に遮断または回復する必要があるあらゆる装置など、真空システムの制御が必要なアプリケーションで主に使用されます。これらは、ポンプオイルの逆流によるシステムの汚染を防ぐために、真空ポンプと併用されることがよくあります。

詳細については、Vacuum Solenoid Valve をご覧ください。